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當前位置:首頁產品中心實驗室氣體配比器質量流量計KT-C4ZSCS200質量流量計氣體配比器

CS200質量流量計氣體配比器

產品簡介

CS200質量流量計氣體配比器,CS200采用*傳感器和溫度補償技術,因此產品精度可以達到設定值1%以內,并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時,產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內,CS200C產品最快可在800ms以內達到設定流量,響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化,所需流量更加精準。

產品型號:KT-C4ZS
更新時間:2025-06-19
廠商性質:生產廠家
訪問量:1623
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品牌鄭科探價格區間面議
產品種類其他介質分類氣體
產地類別國產應用領域化工,電子/電池

CS200質量流量計氣體配比器 


CS200質量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質量流量控制器 高精度型,快響應型 流量控制 流量檢測 國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業

CS200氣體質量流量控制器,采用*傳感器和溫度補償技術,因此產品精度可以達到設定值1%以內,并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時,產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內,CS200C產品最快可在800ms以內達到設定流量,響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化,所需流量更加精準。

采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現象,保證了傳感器線性。

• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術,與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVVCS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA

• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造,尺寸符合國際通用的SEMI標準。

• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字,模擬輸入輸出。

產品支持RS485DeviceNet通訊方式。

具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

技術參數

CS200

類型

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)

或常閉

流量規格(N2)

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(02,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓差范圍

0.050.35MPa 流量規格≤10SLM
  0.1
0.35MPa 10<流量規格≤30SLM
  0.2
0.45MPa 30<流量規格≤50SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規格>10SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規格>10SLM

0.02 MPa

最大工作壓力

0.45MPa

溫度系數

零點: ≤±0.05% F.S./
 
調節時: ≤±0.1% F.S./ 流量規格≤30SLM
 
調節時: ≤±0.2% F.S./ 流量規格>30SLM

零點: ≤±0.02% F.S./
 
調節時: ≤±0.05% F.S./

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作環境溫度

545

050

輸入信號

數字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC (420)mA (020)mA

數字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

數字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

輸出信號

數字::RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC (420)mA (020)mA

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./

電源

±8 ±16 VDC (雙極) +14 +28 VDC (單極)

表面化學成分

常態

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

常態

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′VCR1/4′′陽接頭;雙卡套φ3
 
雙卡套 1/8′′VCO   1/4";φ6()x1 軟管接頭; φ5()x1.5 軟管接頭;
  φ4(
)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mmA 型密封接頭;

雙卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4VCR1/4 陽接頭;
  1.5′′C
型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭

電源接頭形式

D 9 針陽接頭;D 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

 


 


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